檢流計/掃描振鏡(Galvanometer/GalvoScanner)是一種實現高精度光束偏轉的光機電一體化裝置，由電機、反射鏡和位置探測器組成。其工作原理基于電磁驅動與光電檢測：當電流通過線圈時，通電線圈在磁場中會受到電磁力矩作用，從而使電機驅動與之相連的反射鏡產生偏轉，同時通過檢測投影在光電探測器上的光強變化精確反饋偏轉角度。如今檢流計廣泛應用于激光加工、光學成像、3D掃描、生物醫學等領域。
位置檢測器是檢流計的核心部件之一，它集成于檢流計的底部，通常為一組高度定制化的四象限光電探測器（QPD），其有著高分辨率、高靈敏度、快速動態響應等優點。在檢流計中，電機、LED、遮光片和QPD四者的中心同軸，當電機軸轉動時遮光片也會隨之旋轉，通過檢測QPD上的光斑可以計算出反射鏡的實時偏轉角度。
QPD就像檢流計的“眼睛”，能實時監測反射鏡的位置變化，并將數據反饋給控制系統。這種實時反饋讓系統能快速、高效地修正機械誤差、溫度變化或慣性帶來的偏差，確保激光加工的高精度和穩定性。無論是微米級的精細加工、復雜圖案雕刻，還是高速運動控制，都離不開它的精準“糾錯”能力。
